LMC(TM)小型真空ポンプ

リニアモーションクランク(TM)コンプレッサー方式を応用した、水平対向2気筒の小型真空ポンプです。

コンパクトな筐体に必要性能を集約し、装置組込み用途にも対応しやすい構成を目指しています。

特長

• 小型・軽量で装置への組込みが容易
• 用途に応じた真空性能の最適化
• 振動・騒音低減を考慮した機構設計
• カスタム仕様への展開が可能